Bộ bù
01
Bộ bù Bellows cho trường chân không công suất
Chức năng sản phẩm
Độ kín chân không: Áp dụng công nghệ hàn có độ chính xác cao và cấu trúc bịt kín đặc biệt, chúng đảm bảo không rò rỉ trong môi trường chân không cao từ 10⁻⁸ Pa·m³/s đến 10⁻¹¹ Pa·m³/s, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của các ngành công nghiệp như chất bán dẫn và quang điện.
Bù dịch chuyển: Thông qua biến dạng đàn hồi của ống thổi, chúng hấp thụ các dịch chuyển theo trục, ngang và góc, tránh tập trung ứng suất trong đường ống do giãn nở/co lại vì nhiệt hoặc rung động của thiết bị, đồng thời kéo dài tuổi thọ của thiết bị.
Giảm rung động và tiếng ồn: Cấu trúc linh hoạt có thể giảm hiệu quả độ rung động và tiếng ồn truyền qua các thiết bị như máy bơm chân không và máy bơm phân tử tuabin, tăng cường tính ổn định khi vận hành hệ thống.
Chống ăn mòn và chịu nhiệt độ cao: Được làm bằng thép không gỉ hoặc hợp kim đặc biệt, phù hợp với khí ăn mòn (như khí axit trong quy trình CVD) và môi trường nhiệt độ cao (-200℃ đến +450℃).
Phạm vi ứng dụng
Ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử: Được sử dụng trong các kết nối đường ống chân không cho thiết bị trong sản xuất wafer, khắc, phủ (PVD/CVD), v.v., đảm bảo độ sạch cao và truyền dẫn không gây ô nhiễm.
Hệ thống bơm chân không: Kết nối với bơm chân không, bơm cánh gạt quay, bơm phân tử, v.v. để bù rung động và dịch chuyển nhiệt, đồng thời cải thiện hiệu suất bịt kín.
Van chân không và kết nối buồng: Trong máy phủ chân không và thiết bị hàn chùm tia điện tử, chúng đóng vai trò là thành phần chuyển tiếp linh hoạt giữa van và buồng, ngăn ngừa nguy cơ rò rỉ do kết nối cứng.
Nghiên cứu khoa học và thiết bị y tế: Được ứng dụng trong các thiết bị chính xác như máy gia tốc hạt, kính hiển vi điện tử và máy sấy đông chân không để đảm bảo tính ổn định của môi trường chân không cao.
Ngành công nghiệp năng lượng mới và quang điện: Được sử dụng trong các quy trình như phủ pin mặt trời và sấy chân không pin lithium, chịu được nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn hóa học.
Ưu điểm của sản phẩm
Khả năng thích ứng chân không cao: Đáp ứng các yêu cầu về chân không cực cao lên đến 10⁻¹¹Pa·m³/s mà không thải ra khí gây ô nhiễm.
Thiết kế tuổi thọ cao: Cấu trúc ống thổi nhiều lớp có khả năng chống mỏi ≥10.000 chu kỳ.
Nhiều phương pháp kết nối: Mặt bích (KF/CF), hàn hoặc giao diện kết nối nhanh, tương thích với nhiều tiêu chuẩn chân không khác nhau (ISO/DIN).
Dịch vụ tùy chỉnh: Hỗ trợ tùy chỉnh các cỡ nòng khác nhau (DN10~DN500), độ dài và vật liệu đặc biệt (như Hastelloy).
Ống thổi chân không bằng thép không gỉ là thành phần quan trọng đảm bảo thiết bị chân không hoạt động hiệu quả và ổn định, phù hợp cho các lĩnh vực công nghiệp và nghiên cứu khoa học đòi hỏi độ sạch và độ chính xác cao. Để biết thông số kỹ thuật hoặc hỗ trợ lựa chọn, vui lòng liên hệ với đội ngũ chuyên nghiệp của chúng tôi!